薄膜試料位置調製手順

2001.4.20 宇留賀

1.    最初に位置合わせを行う試料に対する手順

(1)    リナグラフを露光する。

(2)    レーザー光をリナグラフに合わせる。

(3)    試料台をレーザー光に合わせる。

(4)    回転ステージに水準器を乗せ、水平に合わせる。

(5)    パルスモーターコントローラー(PM16C)の試料台の高さ調整ステージと、回転ステージの現在位置を0にリセットする。

(6)    試料を試料ステージに固定する。(両面テープ等)

(7)    PM16C Moveにより、試料を適当な傾き角に傾ける。2001.4/20の場合、θステージはtheta 50ステージを使用。−500 pls2°に設定。

(8)    蛍光強度をモニターしながらPM16C Scanにより、試料の高さ方向スキャン(zスキャン)を行い、試料の高さを入射光に合わせる。プロファイルが山形の場合、スキャン後の設定値をcenterに選ぶとスキャン終了後、自動的に指定位置に移動する。2001.4/20の場合、zステージはX 50ステージを使用。スキャンパラメーターは−2000+2000plsまで、100 plsステップでスキャンする。

(9)    蛍光強度をモニターしながらPM16C Scanにより、試料の傾き角スキャン(θスキャン)を行う。蛍光強度の最大位置を記録する。2001.4/20の場合、θステージはtheta 50ステージを使用。スキャンパラメーターは−500+100plsまで、20 plsステップでスキャンする。

(10)PM16C Moveにより、所定の角度に移動する。2001.4/20の場合、最大位置から−100 plsの位置を設定角度とする

(11)再度、蛍光強度をモニターしながらPM16C Scanにより、試料の高さ方向スキャン(zスキャン)を行い、高さ調整を行う。試料表面が回転ステージの回転中心に近い位置に設置されている場合、(8)での測定値との差は小さいはずである。

 

2.    2つ目以降の試料に対する位置調整手順

(1)    試料を試料台に取り付ける。その際、できるだけ試料台、ステージ台を移動しないよう注意を払うこと

(2)    1(9)(10)を行う。

(3)    必要と思われる場合、1(11)を行う。